《图解入门——半导体制造工艺基础精讲 》
作者：佐藤淳一
机械工业出版社 2022
下載：https://libgen.is/book/index.php?md5=B8848E43A63BB232D8FB00185E4A9A48

《图解入门——半导体制造设备基础与构造精讲 》
作者：佐藤淳一
机械工业出版社 2022
下載：https://libgen.is/book/index.php?md5=EA38548314A32A79C01BC4BC29FF1494